5月16日，凱世通國產(chǎn)低能大束流離子注入機12英寸晶圓產(chǎn)品片過貨量突破500萬片慶典活動在上海浦東新區(qū)圓滿舉行。經(jīng)過五年艱苦卓絕的攻堅，凱世通實現(xiàn)了國產(chǎn)低能大束流離子注入機從樣機研發(fā)、產(chǎn)線驗證再到規(guī)模量產(chǎn)的跨越式發(fā)展，鑄就了國產(chǎn)高端離子注入機產(chǎn)業(yè)化里程碑，以關(guān)鍵核心技術(shù)自主創(chuàng)新打破國際巨頭壟斷并規(guī)模化替代，支撐10余家國內(nèi)主流12英寸集成電路產(chǎn)線安全量產(chǎn)，覆蓋先進邏輯、先進存儲、CIS圖像傳感器以及功率芯片四大核心領(lǐng)域，為我國芯片制造自主可控奠定堅實基礎(chǔ)。

    離子注入機是芯片制造三大關(guān)鍵裝備之一，開發(fā)難度僅次于光刻機，被業(yè)內(nèi)人士稱為“廠長殺手”，其中低能大束流離子注入機的市場規(guī)模最大、產(chǎn)業(yè)化難度極高，一直以來被國際半導(dǎo)體設(shè)備巨頭壟斷。自凱世通2020年向國內(nèi)頭部12英寸產(chǎn)線交付首臺設(shè)備，五年來，凱世通堅持自主研發(fā)、原創(chuàng)設(shè)計，以每年突破性進展完成技術(shù)跨越，實現(xiàn)關(guān)鍵部件國產(chǎn)化，攻克電性能關(guān)鍵工藝及28納米工藝全覆蓋，取得先進制程產(chǎn)業(yè)化突破；以“每月等效2個月”的研發(fā)效率，跑出了凱世通速度，不斷刷新低能大束流離子注入機產(chǎn)線安全量產(chǎn)數(shù)據(jù)新高度，探索國產(chǎn)化應(yīng)用的無人區(qū)。

    活動現(xiàn)場，客戶代表向凱世通授予“凱世通速度”書法作品，激勵凱世通與客戶攜手并進，在現(xiàn)有突破基礎(chǔ)上，加快達成更大規(guī)模的量產(chǎn)，做好新一代產(chǎn)品開發(fā)，推出更多引領(lǐng)國產(chǎn)離子注入機發(fā)展的新產(chǎn)品。

    先導(dǎo)科技集團董事長、萬業(yè)企業(yè)董事長兼總裁、凱世通董事長朱世會表示，在當(dāng)前國際環(huán)境下，過貨量突破500萬片極具戰(zhàn)略價值，體現(xiàn)了凱世通持續(xù)服務(wù)客戶安全量產(chǎn)的能力。500萬片的里程碑凝聚了凱世通團隊的堅守與拼搏，離不開客戶、有關(guān)部門、供應(yīng)商、股東等各方長期的指導(dǎo)與關(guān)懷。凱世通將滿懷感恩之情，繼續(xù)秉持“科技報國”初心，緊密圍繞客戶需求，聚焦“硬卡替”環(huán)節(jié)，加快離子注入機核心技術(shù)攻堅，不斷滿足國內(nèi)集成電路客戶量產(chǎn)需求。先導(dǎo)科技集團基于全產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢，從材料、零部件及維保、量測、終端應(yīng)用等多維度正在加快賦能凱世通發(fā)展，助力凱世通進一步做大做強，服務(wù)國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量快速發(fā)展。

    凱世通總經(jīng)理陳克祿博士指出，過貨量突破500萬片大關(guān)這一里程碑體現(xiàn)了將“不可能變?yōu)榭赡堋钡膭P世通速度，既是對凱世通自主研發(fā)能力和機臺產(chǎn)品力的實證，更是公司系統(tǒng)性能力再上新臺階的集中體現(xiàn)。凱世通五年來在技術(shù)研發(fā)、現(xiàn)場服務(wù)、生產(chǎn)能力、供應(yīng)鏈體系、質(zhì)量管控等全方位能力體系建設(shè)上取得顯著進步。從一年幾千片到每月50萬片，到如今過貨量突破500萬片，凱世通以五年攻堅的魄力，讓國產(chǎn)離子注入機從圖紙走向產(chǎn)線，從“可用”邁向“好用”。

    凱世通副總經(jīng)理、首席技術(shù)官夏世偉表示，離子注入機是大國重器，凱世通團隊滿懷愛國之志，堅持創(chuàng)新精神、工匠精神，始終以服務(wù)客戶產(chǎn)線量產(chǎn)為導(dǎo)向，聚焦離子注入機技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，在客戶的導(dǎo)航與支持下，實現(xiàn)了國產(chǎn)大束流機臺產(chǎn)能持續(xù)提升。500萬片是凱世通在國內(nèi)頭部12英寸的集成電路邏輯、存儲大生產(chǎn)線上實現(xiàn)的真正產(chǎn)品生產(chǎn)，標(biāo)志著凱世通從研發(fā)階段邁入安全穩(wěn)定、可靠量產(chǎn)的國產(chǎn)化之路，凱世通團隊將繼續(xù)以全身心的投入，與客戶并肩戰(zhàn)斗，以核心科技硬實力筑牢中國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展之基。

    在活動尾聲，為紀(jì)念這一里程碑，各界伙伴與凱世通團隊共同在500萬片紀(jì)念晶圓上留下了象征合作共贏、產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新的珍貴手印，共同守護“中國芯”。

    從“0到1”正向研發(fā)突破，再到“1到N”的量產(chǎn)，如今凱世通已成為頭部芯片制造產(chǎn)線主力機型的國產(chǎn)化擔(dān)當(dāng)。展望未來，以凱世通為代表的中國芯路人，以自主創(chuàng)新為筆，以使命擔(dān)當(dāng)為墨，必將繪出“中國芯”自主可控的壯闊圖景！