1月5日消息，蘇州光舵微納科技股份有限公司（簡稱：光舵微納）近日完成由國投創合投資的近億元B+輪股權融資。

    此次融資完成后，光舵微納將繼續提升其核心研發團隊的技術實力，積極研發應用于多個重要場景的高端納米壓印設備并進行廣泛的市場開拓，進行產線擴充，推進納米壓印技術在更多應用領域的導入，打造從產品、系統到整體解決方案的商業模式，助力國內半導體制造產業發展。

全自動納米壓印設備（圖片來源：光舵微納）

    據悉，納米壓印（Nano Imprint Lithography，NIL）發明于上世紀90年代中期，該技術利用機械模具微復型原理在基板上制備微納結構。

    納米壓印克服了光刻技術中由于衍射導致的分辨率限制，具有超高分辨率、易量產、低成本、一致性高的優點，可應用于半導體、LED照明、平板顯示、生物技術、太陽能電池、光學等領域。

圖片來源：光舵微納

    據悉，納米壓印技術是微納加工領域的一項關鍵底層技術，在國際半導體藍圖（ITRS）中，該技術被列為下一代半導體加工技術的重要代表之一。

    針對納米壓印技術，成立于2011年的光舵微納，經過多年的研發及市場應用推廣，制造出了多款研發型納米壓印設備及全自動量產型納米壓印設備，實現了在設備、耗材及工藝的突破。

    其中，在LED圖形化襯底產業（LED-PSS）領域，光舵微納在技術與市場地位方面處于前列水平，其納米壓印設備及耗材已在客戶端實現超過4000萬片LED-PSS的大規模穩定量產，LED圖形化襯底領域實現了對尼康光刻機的產業化替代，并處于快速擴張階段。

    此外，光舵微納積極拓展納米壓印技術在高端半導體、AR衍射光波導、生物檢測器件、消費電子等領域的產業化應用，并已取得了實質性進展。