弗蘭恩霍夫研究所(Fraunhofer FEP institute)研究人員利用電子束開發了一種新型微圖案化工藝,在硅襯底上生產OLED微型顯示器。這可以實現生產直接放射OLED微型顯示器的新方法,與目前使用彩色濾光片的微型顯示器相比,其將更加高效和明亮。
在封裝步驟之后執行電子束圖案化——光束穿過封裝層并且可以用于修改OLED材料的發射。為了產生紅綠藍像素,OLED本身的有機層通過熱電子束工藝燒蝕。
弗勞恩霍夫研究人員曾于兩年前展示OLED照明面板的電子束圖案化。研究人員現在的目標是與行業合作伙伴共同開發技術,將其集成到現有流程中,并最終獲得許可用于生產。